光学镀膜工艺流程是一个复杂而精细的过程，旨在通过在光学零件表面镀上一层或多层金属（或介质）薄膜，以改变其光学性能。以下是光学镀膜工艺流程的详细步骤：

    一、前期准备

材料准备：选用高质量的光学镜片作为基材，确保镜片表面平整、无缺陷。

设备准备：准备真空镀膜机及相关设备，如真空泵、蒸发源、溅射源、膜厚监控仪等。

环境准备：确保镀膜室内清洁无尘，避免污染镜片表面。

    二、镜片处理

打磨：对光学镜片进行精细打磨，去除表面微小凹陷和杂质，提高表面光洁度。

清洗：使用特殊的清洗液和超声波清洗设备对镜片进行清洗，去除油污、手印、灰尘等污染物。清洗过程通常包括有机溶剂清洗、水基清洗剂清洗、纯水漂洗和IPA脱水等步骤。

    三、镀膜过程

真空加热：将镜片放入真空室内，通过通电加热的方式使镜片表面吸附的气体蒸发并被泵走，形成高真空环境。

金属膜沉积：根据镀膜需求，选择合适的膜料（如金属、合金、氧化物等），并通过蒸发或溅射的方式将其沉积在镜片表面。蒸发过程通常涉及加热蒸发源，使膜料蒸发成气态分子；溅射过程则利用高能粒子轰击靶材，使靶材原子或分子被溅射出来。

膜厚监控：使用膜厚监控仪对镀膜过程进行实时监控，确保薄膜的厚度和均匀性满足要求。根据需要，可以调整蒸发源或溅射源的参数，以优化镀膜效果。

    四、后期处理

冷却：镀膜完成后，关闭蒸发源或溅射源，让真空室内自然冷却至室温。然后将镜片从真空室中取出，放置于恒温房中进一步冷却至室温。

检测与测试：对镀膜后的镜片进行光学性能测试，如反射率、透过率、激光损伤阈值等，确保镀膜质量符合设计要求。

    五、特殊镀膜技术

在光学镀膜工艺流程中，还有一些特殊的镀膜技术，如离子辅助沉积（IAD）、磁控溅射等。这些技术能够进一步提高镀膜的质量和性能，如提高薄膜的致密度、附着力、光学性能等。

    综上所述，光学镀膜工艺流程是一个精细而复杂的过程，需要严格控制各个环节的参数和条件，以确保镀膜质量和性能的稳定性和可靠性。

——本文由光学镀膜设备厂家振华真空发布