光学薄膜的表征包含光学特性的表征、光学参数的表征及非光学特性的表征，其中，光学特性主要是指光学薄膜的光谱反射、透射及光学损耗（吸收损耗和反射损耗）特性。透射率与反射率是光学薄膜最基本的光学特性，因而薄膜透射率与反射率的测试是光学薄膜的基本测试技术。光学薄膜的光学参数包含光学薄膜的折射率、吸收系数及薄膜厚度等。

    由于实际工艺制备的光学薄膜在材料组分上具有化学计量偏差，在结构上不再是均一、致密的，而是存在微结构与各种缺陷，介质膜层不再完全透明，存在微弱吸收，同时薄膜折射率存在空间上的不均匀性和各相异性，薄膜不再具有无限大、光滑的界面。更为重要的是，在实际制备过程中，薄膜制备工艺参数对薄膜的光学参数影响非常大，因此薄膜光学参数的实时确认非常关键。另外，光学薄膜作为一个器件应用在实际环境中，除了器件的光学特性需要满足要求外，薄膜还有许多其他重要的非光学特性影响薄膜的使用，如薄膜的附着力、薄膜的应力、薄膜的硬度与表面粗糙度及薄膜的耐环境能力等。因此，必须对所有影响薄膜器件使用的各种参数或特性进行精确的测定。

    薄膜的透射率与反射率主要采用光谱测试分析仪进行测试。用于光学薄膜测试的光谱仪可以按照测试波段的不同分成紫外-可见分光光度计、红外分光光度计及红外傅里叶光谱仪等。前两者采用光谱分光原理的分析测试系统，后者基于干涉原理的光谱分析系统。由于薄膜器件的几何结构与形状的不同，虽然都是透射率和反射率的测量，但是对于不同形状、不同精度或不同偏振要求，都可能需要不同的测试方法与技术。

——本文由光学镀膜设备厂家广东振华发布