薄膜的光学特征
文章作者:广东尊龙凯时
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发布时间:2023-11-23
以金属薄膜为例,其光学特性表现为:1.势透射率决定于金属膜的光学常数和出射介质的光学导纳,而与人射介质无关;2.最大势透射率仅决定于金属膜的光学常数,实现最大诱射率的出射光学导纳被称为最佳匹配导纳,或最佳负载导纳;3.膜系的实际透射率不仅热诱射率有关,还和人射介质有关,即和整个膜系的反射率有关;4.最佳匹配导纳只是对有限的几个分离波长存在,所以利用最佳匹配导纳实现最大势透射率可以实现抑制背景的窄段高透的窄带滤光片。
以光学薄膜为例,其光学特征表现为:1.表面光滑,膜层之间的界面呈几何分割;2.膜层的折射率在界面上可以发生跃变,但在膜层内是连续的;3.可以是透明介质,也可以是吸收介;4.可以是法向均匀的,也可以是法向不均匀的。
以类金刚石薄膜为例,其光学特征表现为:1.DLC 薄膜具有典型的红外透过率,在很宽光谱的范围内也能保持较高的透过率;2.DLC薄膜折射率可根据工艺参数调整在 1.7~2.4 之间变化,主要受工艺条件和薄膜含氢量的影响。一般情况下,薄膜的折射率随着束缚氢的浓度的增加而减小,同时氢的含量增加也会影响薄膜的硬度,因此具有较高折射率的DLC薄膜通常也具有较高的硬度。
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